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IC 载板专用LDI APEX

APEX 系列LDI 适用于IC Substrate, 最小解析能力10um, 适用于Flip-chip 的高解析, 高对准的工艺需求

  • 支持多区域分区对位功能
  • 支持固定涨缩及分区涨缩模式
  • 支持涨缩SPC统计功能
  • 支持形变矫正功能
  • 支持Stamp及Coding功能
  • 支持自动线

APEX 规格

 #

Item

APEX 280

1

产能

35mj 

45s/面

2

50mj 

45s/面

3

80mj 

45s/面

4

资料解析度

1.0um( 25400dpi)

5

最小线宽

10um 

6

对准精度

5um 

7

层间对位

10um 

8

光源数量

5*10W 

9

工作波长

405nm

10

最大基板

530*660mm

11

线宽公差

10%

12

备注

适用PBGA/CSP/EBGA/Flip-chip

 

阻焊专用LDI Galaxy 100

芯硕Galaxy 100 卓越的防焊设备, 能有效的改善客户涨缩,提升良率, 为客户降低成本和提升产能

  • 阻焊
  • 支持多区域分区对位功能
  • 支持固定涨缩及分区涨缩模式
  • 支持涨缩SPC统计功能
  • 支持形变矫正功能
  • 支持Stamp及Coding功能
  • 支持自动线

Galaxy 100 规格

 #

Item

Galaxy 100

Galaxy 100 HS

2

产能

250mj (基准)

33s/面

33s/片

4

资料解析度

3.0um 

3.0um 

6

对准精度

12um 

12um 

8

光源数量

2*20W 

2*20W 

 

适用油墨类型

   
 

Under Cut 

   

9

工作波长

405nm

405nm

10

最大基板

600*800mm 

600*800mm 

11

线宽公差

10%

10%

12

备注

Galaxy 100 HS 指Galaxy 100的自动线