ATI - 半导体检测设备

芯硕ATI系列检测设备针对半导体制程中光学检测需求开发设计,同时具有套刻、线宽和缺陷检测三种功能,可满足90nm工艺节点的套刻测量,0.5um以上的线宽测量及用户自定义的缺陷检测。 ATI系列产品采用先进的图形处理技术和成像系统,具有测量精度高、速度快、应用灵活等特点,可使用于半导体工艺、微纳加工、MEMS、LED等领域中的良率控制。

ATI2000

ATI2000

ATI2000P

ATI2000P

ATI 规格

 

Item

Unit

ATI2000

ATI2000P

1

可支持晶圆尺寸

[Inch]

max :8"

max :8" 12"

2

最小可测量线宽

[um]

0.5

0.5

3

线宽测量重复性

[3σ,nm]

8

8

4

套刻测量重复性

[3σ,nm]

6

6

5

支持缺陷类型

[N/A]

颗粒;

刮伤; 图形损坏或客户定义的缺陷类型

颗粒;

刮伤; 图形损坏或客户定义的缺陷类型

6

上/下片方式

[N/A]

手动

自动

7

聚焦方式

[N/A]

自动

自动