2009年上海半导体设备展会

芯硕研发成功了中国首台亚微米级直写光刻设备(ATD1000),并于2008年11月成功交付湖南大学使用。芯硕产品不仅填补国内空白、打破国际垄断,更是在和国际垄断巨头角逐中、高端半导体装备市场。