中国首台亚微米级光刻设备研发成功并交付客户

芯硕产品在本次上海展受到很多关注,引来众多的参观者。图1为络绎不绝的访客;图2为工作人员为来访者介绍半导体检测设备ATI系列产品;图3是工作人员为访客介绍直写式光刻机ATD系列产品。