核心技术

  • 高速曝光技术
    • 倾斜曝光技术
    • 二次成像技术
    • 高速数据实时处理和传输链
    • 平台连续同步扫描曝光技术
    • 多光头同步技术
    • 图形数据处理技术
  • 精密平台技术
    • 机密微环境控制
    • 精密平台与激光同步扫描技术
    • 高速自动聚焦技术
    • 图形扫描和拼接技术
    • 光学对准技术和图形位置精度
  • 深紫外曝光技术
    • 深紫外光学系统
    • 深紫外DMD
    • 深紫外光刻胶工艺技术